Með þróun hálfleiðaraiðnaðar í Kína hefur þróun lykilþátta fyrir vinnslubúnað orðið mikilvæg þvingun á þróun búnaðar. Eftir því sem ákallið um staðsetningu hálfleiðaratækni innanlands verður sterkara, mun fleiri og fleiri flöskuhálstækni í hálfleiðaraiðnaðinum verða sigrast á. Byggt á margra ára reynslu í hálfleiðaraiðnaðinum hefur fyrirtækið okkar þróað holan-skaft há-hraða servómótor til að aðsoga oblátur í hálfleiðarahúðun, þróunar- og hreinsunarbúnað. Þessi mótor er með mikla hröðun, breitt hraðasvið og mikla viðbragðsflýti og hefur verið mikið lofað af viðskiptavinum í greininni.
Notkun holu-skafts servómótorsins:
Lýsingar- og framkallabúnaður (húðun, framkallandi): Aðalbúnaður fyrir ljósþynningarferli, stjórna húðun, lýsingu og framkalla.
Búnaður til að hreinsa, húða, þróa og fjarlægja filmu.
Hentar fyrir líkamlega skolhreinsun, agnahreinsun og úðunarferli.
Hollow Shaft Servo Motor Vörulýsing og notkunarsvæði:
750W/1000W – 5000, 6000 snúninga á mínútu
Notkunarsvæði (hág-líkön):
8 tommu og 12 tommu hálfleiðarabúnaður.
Aðferðir eins og húðun, þróun, hreinsun og ætingu.
Hámarkshröðun getur náð 50.000 R/S² samstundis hröðun.
Sérstök skaftendahönnun tryggir lægsta skaftendahleðslustuðul.
